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Aperçu

Les masters techniques de fabrication de la microélectronique couvrent les aspects intensifs de la technologie des circuits intégrés, des techniques de modélisation et de simulation, ainsi que de la vérification pratique en laboratoire de ces processus. En laboratoire, des étudiants issus de divers domaines de l'ingénierie et des sciences conçoivent et fabriquent des circuits à semi-conducteurs, apprennent à utiliser un équipement d'imagerie, développent et créent des systèmes, et fabriquent et testent leurs propres circuits intégrés dans notre salle blanche. La fabrication de la microélectronique chez RIT utilise de nombreuses disciplines différentes telles que la chimie, la physique et l’ingénierie pour fournir un diplôme qui rend nos étudiants très recherchés sur le marché du travail.

Le ME en génie de la fabrication de la microélectronique offre une formation variée aux étudiants intéressés par une carrière dans le secteur des semi-conducteurs et titulaires d'un baccalauréat en génie traditionnel ou dans une autre discipline scientifique.

Résultats du programme

Après avoir terminé le programme, les étudiants seront capables de:

  • Concevez et comprenez une séquence d'étapes de traitement pour fabriquer un dispositif à semi-conducteurs afin de respecter un ensemble de paramètres géométriques, électriques et / ou de traitement.
  • Analysez les données électriques expérimentales d'un dispositif à semi-conducteurs pour extraire les paramètres de performance afin de les comparer aux paramètres de modélisation utilisés dans la conception du dispositif.
  • Comprendre les matériaux, les processus et les systèmes lithographiques actuels pour répondre aux exigences d'imagerie et de modélisation de dispositifs.
  • Comprendre la pertinence d'un processus ou d'un dispositif, proposé ou existant, par rapport aux pratiques de fabrication actuelles.
  • Effectuer dans un environnement d'ingénierie microélectronique, comme en témoigne un stage.
  • Appréciez les domaines de spécialité dans le domaine de la microélectronique, tels que l'ingénierie de dispositif, la conception de circuits, la lithographie, les matériaux et les processus, ainsi que le rendement et la fabrication.

Plan d'étude

Les étudiants reçoivent le diplôme ME après avoir passé avec succès 30 heures de crédit, comprenant des cours de base, des cours au choix, des séminaires de recherche et un stage. Dans certaines circonstances, un étudiant peut être tenu de suivre des cours-relais d'un nombre de crédits supérieur au nombre minimal de crédits. Les étudiants suivent des cours en microélectronique, microlithographie et fabrication.

Microélectronique

Les cours de microélectronique couvrent les principaux aspects de la technologie de fabrication de circuits intégrés, tels que l'oxydation, la diffusion, l'implantation ionique, le dépôt chimique en phase vapeur, la métallisation, la gravure au plasma, etc. Ces cours insistent sur les techniques de modélisation et de simulation, ainsi que sur la vérification pratique en laboratoire de ces processus. . Les étudiants utilisent des outils logiciels spéciaux pour ces processus. En laboratoire, les étudiants conçoivent et fabriquent des circuits intégrés MOS en silicium, apprennent à utiliser les équipements de traitement des semi-conducteurs, développent et créent un procédé, et fabriquent et testent leurs propres circuits intégrés.

Microlithographie

Les cours de microlithographie sont des cours avancés en chimie, physique et traitement de la microlithographie. La lithographie optique est étudiée à l'aide de techniques de diffraction, de Fourier et d'évaluation d'images. Les modèles de diffraction scalaires sont utilisés pour simuler la formation d'images aériennes et l'influence des paramètres d'imagerie. Les systèmes de résist positif et négatif, ainsi que les processus d'application de circuits intégrés, sont étudiés. Les sujets avancés incluent les résists amplifiés chimiquement; systèmes de réserves multicouches; masques à décalage de phase; une lithographie par faisceau d'électrons, rayons X et UV profonds. Les exercices de laboratoire comprennent la conception de systèmes de projection, la caractérisation de matériaux de réserve, l’optimisation de processus et la lithographie par faisceau électronique.

Fabrication

Les cours de fabrication abordent des sujets tels que la planification, le suivi des travaux en cours, l’établissement des coûts, le contrôle des stocks, la budgétisation des immobilisations, les mesures de la productivité et la gestion du personnel. Les concepts de qualité et de contrôle statistique des processus sont introduits. Le laboratoire de ce cours est une usine dirigée par des étudiants et fonctionnant au sein du département. Des questions importantes telles que la mesure du rendement, la densité de défauts, la cartographie des plaquettes, les cartes de contrôle et d'autres outils de mesure de la fabrication sont examinées dans le cadre de conférences et de travaux de laboratoire. La fabrication intégrée par ordinateur est également étudiée en détail. La modélisation des processus, la simulation, la commande directe, la mise en réseau, les systèmes de bases de données, la liaison des programmes, la surveillance des installations, les applications des systèmes experts pour le diagnostic et la formation, ainsi que la robotique s'appuient sur des expériences de laboratoire dans l'usine de circuits intégrés. Le programme est également offert en ligne pour les ingénieurs employés dans l'industrie des semi-conducteurs.

Stage

Le programme nécessite que les étudiants complètent un stage ou suivent un cours optionnel supplémentaire. L'option de stage implique une expérience de travail structurée et supervisée qui permet aux étudiants d'acquérir des compétences professionnelles qui les aident à atteindre les objectifs de carrière souhaités.

Un stage peut être effectué à tout moment après la fin du premier semestre et peut être conçu de différentes manières. À la fin du stage, un rapport de stage final doit être soumis au conseiller pédagogique et au directeur du programme.

les industries

  • Matériel électronique et informatique
  • Fabrication
  • Automobile
  • Aérospatial

Curriculum

Ingénierie de fabrication en microélectronique, degré ME, séquence de cours typique

Première année

  • Fabrication microélectronique MCEE-601
  • MCEE-605 Matériaux et procédés de lithographie
  • MCEE-603 couches minces
  • MCEE-795 Méthodes de recherche en microélectronique
  • MCEE-732 Fabrication de la microélectronique
  • MCEE-602 Modélisation de processus VLS
  • Systèmes de nanolithographie MCEE-615
  • MCEE-795 Méthodes de recherche en microélectronique
  • MCEE-777 Stage en génie microélectronique
  • Diplômé au choix

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Conditions d'admission

Pour être admis au programme ME en génie de la fabrication microélectronique, les candidats doivent remplir les conditions suivantes:

  • Remplissez une demande de diplôme.
  • Détenir un baccalauréat (ou équivalent) d'une université ou d'un collège agréé en génie ou dans un domaine connexe.
  • Soumettre les relevés de notes officiels (en anglais) de tous les cours terminés précédemment.
  • Avoir une moyenne cumulative minimale de 3,0 (ou l’équivalent).
  • Soumettez deux lettres de recommandation de sources académiques ou professionnelles.
  • Les candidats internationaux dont la langue maternelle n'est pas l'anglais doivent soumettre les résultats du TOEFL, de l'IELTS ou du PTE. Un score minimum de 79 au TOEFL (basé sur Internet) est requis. Un score minimum de 6,5 IELTS est requis. La condition requise pour le test de langue anglaise est levée pour les locuteurs natifs de l’anglais ou pour ceux qui soumettent des relevés de notes de diplômes obtenus dans des établissements américains.
  • Les candidats postulant avec un baccalauréat dans des domaines d'ingénierie non électriques ou non microélectroniques peuvent être considérés pour l'admission, cependant, ils peuvent être tenus de suivre des cours de transition supplémentaires afin de s'assurer qu'ils sont bien préparés pour les études supérieures.
Programme enseigné dans l'établissement suivant :
  • Anglais
Rochester Institute of Technology (RIT)

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Mis à jour le Juillet 11, 2019
Ce cours est En ligne, Sur le campus
Date de début
Duration
1 année
Temps partiel
À temps plein
Prix
47,522 USD
Cours annuel (12-18 heures de crédit). Des frais supplémentaires peuvent s'appliquer. Bourses et aides sont disponibles.
Date-limite
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Rolling admission
Par lieux
Par date
Date de début
Date de fin
Mai 9, 2020
Date limite d'inscription
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Location
Date limite d'inscription
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Date de fin
Mai 9, 2020