Master en ingénierie en ingénierie de fabrication microélectronique

Informations générales

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Description du programme

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Aperçu

Les masters techniques de fabrication de la microélectronique couvrent les aspects intensifs de la technologie des circuits intégrés, des techniques de modélisation et de simulation, ainsi que de la vérification pratique en laboratoire de ces processus. En laboratoire, des étudiants issus de divers domaines de l'ingénierie et des sciences conçoivent et fabriquent des circuits à semi-conducteurs, apprennent à utiliser un équipement d'imagerie, développent et créent des systèmes, et fabriquent et testent leurs propres circuits intégrés dans notre salle blanche. La fabrication de la microélectronique chez RIT utilise de nombreuses disciplines différentes telles que la chimie, la physique et l’ingénierie pour fournir un diplôme qui rend nos étudiants très recherchés sur le marché du travail.

Le ME en génie de la fabrication de la microélectronique offre une formation variée aux étudiants intéressés par une carrière dans le secteur des semi-conducteurs et titulaires d'un baccalauréat en génie traditionnel ou dans une autre discipline scientifique.

Résultats du programme

Après avoir terminé le programme, les étudiants seront capables de:

  • Concevez et comprenez une séquence d'étapes de traitement pour fabriquer un dispositif à semi-conducteurs répondant à un ensemble de paramètres géométriques, électriques et / ou de traitement.
  • Analyser les données électriques expérimentales d'un appareil à semi-conducteurs pour extraire les paramètres de performance à des fins de comparaison avec les paramètres de modélisation utilisés dans la conception de l'appareil.
  • Comprendre les matériaux, les processus et les systèmes lithographiques actuels pour répondre aux exigences d'imagerie et de modélisation de dispositifs.
  • Comprendre la pertinence d'un processus ou d'un dispositif, proposé ou existant, pour les pratiques de fabrication actuelles.
  • Effectuer dans un environnement d'ingénierie microélectronique, comme en témoigne un stage.
  • Appréciez les domaines de spécialité dans le domaine de la microélectronique, tels que l'ingénierie de dispositif, la conception de circuits, la lithographie, les matériaux et les processus, ainsi que le rendement et la fabrication.

Plan d'étude

Les étudiants reçoivent le diplôme ME après avoir passé avec succès 30 heures de crédit, comprenant des cours de base, des cours au choix, des séminaires de recherche et un stage. Dans certaines circonstances, un étudiant peut être tenu de suivre des cours-relais d'un nombre de crédits supérieur au nombre minimal de crédits. Les étudiants suivent des cours en microélectronique, microlithographie et fabrication.

Microélectronique

Les cours de microélectronique couvrent les principaux aspects de la technologie de fabrication de circuits intégrés, tels que l'oxydation, la diffusion, l'implantation ionique, le dépôt chimique en phase vapeur, la métallisation, la gravure au plasma, etc. Ces cours insistent sur les techniques de modélisation et de simulation, ainsi que sur la vérification pratique en laboratoire de ces processus. . Les étudiants utilisent des outils logiciels spéciaux pour ces processus. En laboratoire, les étudiants conçoivent et fabriquent des circuits intégrés MOS en silicium, apprennent à utiliser les équipements de traitement des semi-conducteurs, développent et créent un procédé, et fabriquent et testent leurs propres circuits intégrés.

Microlithographie

Les cours de microlithographie sont des cours avancés en chimie, physique et traitement impliqués en microlithographie. La lithographie optique est étudiée par diffraction, Fourier et techniques d'évaluation d'images. Des modèles de diffraction scalaire sont utilisés pour simuler la formation d'images aériennes et les influences des paramètres d'imagerie. Les systèmes de résist positifs et négatifs, ainsi que les processus d'application des circuits intégrés, sont étudiés. Les sujets avancés incluent les résistances chimiquement amplifiées; systèmes de réserve multicouches; masques à déphasage; un faisceau d'électrons, des rayons X et une lithographie UV profonde. Les exercices en laboratoire comprennent la conception de systèmes de projection, la caractérisation des matériaux résistifs, l'optimisation des processus et la lithographie par faisceau d'électrons.

Fabrication

Les cours de fabrication abordent des sujets tels que la planification, le suivi des travaux en cours, l’établissement des coûts, le contrôle des stocks, la budgétisation des immobilisations, les mesures de la productivité et la gestion du personnel. Les concepts de qualité et de contrôle statistique des processus sont introduits. Le laboratoire de ce cours est une usine dirigée par des étudiants et fonctionnant au sein du département. Des questions importantes telles que la mesure du rendement, la densité de défauts, la cartographie des plaquettes, les cartes de contrôle et d'autres outils de mesure de la fabrication sont examinées dans le cadre de conférences et de travaux de laboratoire. La fabrication intégrée par ordinateur est également étudiée en détail. La modélisation des processus, la simulation, la commande directe, la mise en réseau, les systèmes de bases de données, la liaison des programmes, la surveillance des installations, les applications des systèmes experts pour le diagnostic et la formation, ainsi que la robotique s'appuient sur des expériences de laboratoire dans l'usine de circuits intégrés. Le programme est également offert en ligne pour les ingénieurs employés dans l'industrie des semi-conducteurs.

Stage

Le programme nécessite que les étudiants complètent un stage ou suivent un cours optionnel supplémentaire. L'option de stage implique une expérience de travail structurée et supervisée qui permet aux étudiants d'acquérir des compétences professionnelles qui les aident à atteindre les objectifs de carrière souhaités.

Un stage peut être effectué à tout moment après la fin du premier semestre et peut être conçu de plusieurs manières. À la fin du stage, la soumission d'un rapport final de stage au conseiller pédagogique et au directeur du programme est requise.

les industries

  • Matériel électronique et informatique
  • Fabrication
  • Automobile
  • Aérospatial

Curriculum

Ingénierie de fabrication en microélectronique, degré ME, séquence de cours typique

Première année

  • Fabrication microélectronique MCEE-601
  • MCEE-605 Matériaux et procédés de lithographie
  • MCEE-603 couches minces
  • MCEE-795 Méthodes de recherche en microélectronique
  • MCEE-732 Fabrication de la microélectronique
  • MCEE-602 Modélisation de processus VLS
  • Systèmes de nanolithographie MCEE-615
  • MCEE-795 Méthodes de recherche en microélectronique
  • MCEE-777 Stage en génie microélectronique
  • Diplômé au choix

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Conditions d'admission

Pour être admis au programme ME en génie de la fabrication microélectronique, les candidats doivent remplir les conditions suivantes:

  • Remplissez une demande de diplôme.
  • Détenir un baccalauréat (ou équivalent) d'une université ou d'un collège agréé en génie ou dans un domaine connexe.
  • Soumettre les relevés de notes officiels (en anglais) de tous les cours terminés précédemment.
  • Avoir une moyenne cumulative minimale de 3,0 (ou l’équivalent).
  • Soumettez deux lettres de recommandation de sources académiques ou professionnelles.
  • Les candidats internationaux dont la langue maternelle n'est pas l'anglais doivent soumettre les résultats du TOEFL, de l'IELTS ou du PTE. Un score minimum de 79 au TOEFL (basé sur Internet) est requis. Un score minimum de 6,5 IELTS est requis. La condition requise pour le test de langue anglaise est levée pour les locuteurs natifs de l’anglais ou pour ceux qui soumettent des relevés de notes de diplômes obtenus dans des établissements américains.
  • Les candidats postulant avec un baccalauréat dans des domaines d'ingénierie non électriques ou non microélectroniques peuvent être considérés pour l'admission, cependant, ils peuvent être tenus de suivre des cours de transition supplémentaires afin de s'assurer qu'ils sont bien préparés pour les études supérieures.
Mis à jour le May 2020

À propos de l'établissement

With more than 80 graduate programs in high-paying, in-demand fields and scholarships, assistantships and fellowships available, we invite you to take a closer look at RIT. Don't be fooled by the word ... Continuer

With more than 80 graduate programs in high-paying, in-demand fields and scholarships, assistantships and fellowships available, we invite you to take a closer look at RIT. Don't be fooled by the word "technology" in our name. At RIT, you will discover a university of artists and designers on the one hand, and scientists, engineers, and business leaders on the other – a collision of the right brain and the left brain. Réduire